中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Atlas #57163 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON ATLASは、半導体ウェーハ上にナノスケールパターンを作成する次世代フォトレジスト機器です。プロセス制御のための包括的な一連の機能を提供し、ポストイメージングとプリプロセッシングの両方の機能を備えています。このシステムには、フォトレジスト層に光を露出させ、半導体ウェーハ上にパターンを作成するハイエンドのフォトイメージングツールが装備されています。360 nm〜800 nmの波長で動作し、異なるレジストやフォトプロセスの特性に合わせて調整することができます。フォトイメージツールは、サブ0。2 μ mの解像度を達成することができます。また、アクティブスタビライゼーション機能を備えたウェーハステージを搭載し、望ましいナノスケール精度を実現します。ウェーハステージは、ウェーハサイズと厚さの範囲をサポートし、レーザーマスク書き込みのような迅速な反復処理が可能です。FSI Atlasには高速ロボットが搭載されており、高スループットでプロセスステップを実行できます。ウェーハ上のパターンを正確に変更するために使用できるマイクロプロセッシングヘッダーが含まれています。また、レジスト層のクリーンで安定した開発を保証するハイエンドのレジスト管理機能を備えています。これにより、プロセスパラメータのリモート監視も可能になり、プロセスの問題を迅速に解決できます。また、フォトレジストのコーティングと開発を正確に制御するために使用できる高効率の化学管理技術を搭載しています。この化学管理ツールは、製造される欠陥チップの数を削減するのに役立ちます。さらに、アセットは製造実行モデルと統合されており、長期的にレジストプロセス全体を監視するために使用できます。全体として、TEL Atlasは半導体ウェーハの高精度ナノスケール製造用に設計された先進的なフォトレジスト機器です。プリプロセスとポストイメージングプロセスの両方に強力な機能を提供し、ユーザーは安全かつ確実にパターンを作成および変更できます。