中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Antares #9399583 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON ANTARES装置は、先進的な半導体デバイス製造を可能にする高精度フォトリソグラフィーシステムです。半導体製造において最先端のデバイス生産を可能にする先端技術を活用しています。FSI Antaresマシンは、600mm x 600mmパネル内の複雑なパターンの生産を可能にする拡張焦点深度（EDoF）機能を搭載しています。高精度な光学作動距離を持つTEL Antaresツールは、高度なヘテロ接合トランジスタや集積回路の製造に必要な0。5 μ mのプロセス分解能を実現します。TOKYO ELECTRON ANTARES assetの中心にあるのは、その先進的なフォトレジスト技術です。光学法と化学法を独自に組み合わせ、フォトレジストコーティング工程を精密に制御します。KF（シロキサンベース）やPMMA（ポリメチルメタクリレート）など、さまざまなフォトレジスト化学物質がサポートされています。さらに、Antares装置は、フォトレジストコーティングの厚さを正確な仕様に迅速かつ正確に調整することができます。FSI/TEL/TOKYO ELECTRON ANTARESシステムは、高精度なフォトレジスト技術に加え、ユーザーにさまざまな高度な機能を提供し、完全かつ正確なフォトリソグラフィープロセスを実現します。これには、露光時間の高度な制御、照明パワーレベル、回折制限付きフォーカスコントロールが含まれます。さらに、FSI Antaresユニットは、石英、アルミニウム、シリコン、ポリイミドなど、さまざまな材料と互換性があります。高精度なフォトレジスト技術、高度な制御機能、幅広い材料を組み合わせることで、TEL Antaresマシンは半導体デバイスの生産に理想的なプラットフォームとなります。このツールは、さまざまな複雑なパターンを生成するために使用でき、5nmトランジスタなどの小さなジオメトリの作成に最適です。さらに、フォトリソグラフィ工程を微調整することで、最先端のデバイス部品を高精度に加工することが可能です。結論として、アンタレスモデルは、最先端の半導体デバイスの生産のための高度な機能の範囲を提供する高精度フォトレジストフォトリソグラフィ機器です。FSI/TEL/TOKYO ELECTRON ANTARESシステムは、高精度なフォトレジスト制御と幅広い互換性のある材料で、小さな形状や複雑な構造を持つ複雑なパターンを生成するのに適しています。