中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Antares #9302856 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON ANTARESは、集積回路などのマイクロエレクトロニクス製品の生産グレード処理用に設計されたフォトレジスト機器です。フォトレジストシステムは、リソグラフィープロセス中に高精度と高い再現性を提供するように設計されています。フォトレジスト（photoresist）は、電子ビームによって放出されるエネルギーに反応する光感受性材料である。光にさらされると、その物理的性質を変化させる化学反応が起こり、その結果、設計の特定の部分に影響を与える抵抗層が形成されます。FSIアンタレスユニットは、高度で高解像度のフォトレジスト技術を使用して、デバイス層のシームレスな画像転送と高収率パターニングを保証します。TEL Antaresマシンは、正確なプロセス制御を保証する自動エンドツーエンド制御ツールを内蔵しています。このアセットは、高収率を実現するために不可欠な急なサイドウォールを備え、高品質のレジストパターンを高速で生成できるダイナミックパターニング操作機能を備えています。さらに、露出したパターンの線幅を1/4ミクロンの解像度まで正確に制御することができます。この機能により、サイドウォールの平面性とゲートプロファイルを最適化するための正確なオーバーハング制御も可能になります。また、温度モニタリングや抵抗測定など幅広いプロセスに対応し、成膜・エッチング工程の高度な制御が可能です。また、柔軟なローディングテンプレートとウェーハマッピング機能により、エッジ間の正確な蒸着が可能で、ウェーハ全体にわたって正確な機能複製が可能です。Antaresフォトレジストユニットは、高品質で一貫したデバイスを製品化しようとする多くの半導体企業に採用されています。高度な制御装置と細部への配慮により、より効率的な製造プロセスを可能にし、より高い歩留まりと安定した再現可能なデバイス特性を実現します。