中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON 918331-002 #293665158 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON 918331-002は、高精度の大気処理用に設計されたフォトレジスト装置です。システムのプラズマベースの技術は、汚染を避けながら最適なレベルの洗浄を実現するのに役立ちます。このフォトレジストユニットは、フォトレジストやその他の関連材料を効率的に除去できる高度なRIE（リアクティブイオンエッチング）を実行することができます。そのシンプルな操作機は非常にユーザーフレンドリーであり、操作パラメータの監視を容易にします。そのハイエンドなデザインは、幅や厚さの均一性、アスペクト比の制御など、材料の物理特性を正確に制御して均一なエッチングを実現します。また、可変圧力範囲と改善された真空環境を提供します。チャンバー内では、圧力は2つの大気レベルに下がります。その高周波RF発電機は、電気エネルギーをチャンバーに送信することができます。この技術は、プラズマ合成のためのアルゴンや窒素のような不活性ガスと互換性があります。高度な波形管理制御は、安定したプラズマに必要な電力を提供します。フォトレジストツールは、一貫して均一なエッチングで、最大2つのウエハで操作できます。エッチング工程は精密で均一です。これは、異なるエッチング効果を達成するために、低電力から高電圧のサイクルまで動作することができます。電圧に対するその高度な制御は、エッチングが最小の分散で行われることを保証します。アセットの設計は非常に効率的で、オペレータを支援するための完全な監視機能を提供します。その可変的な圧力範囲は必要なとき圧力を減らし、異なったエッチングの条件のために必要なときそれを高めるためにより多くの柔軟性を可能にします。このモデルには、メンテナンスを最適化し、パフォーマンスを向上させるモーションコントロールメカニズムも装備されています。FSI 918331-002フォトレジスト装置のユニークな設計は、さまざまな高度なエッチング処理に最適です。優れた性能、効率、ユーザーフレンドリーなシステムにより、さまざまなエッチングのニーズに最適なソリューションです。