中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON 915597-005 #9408657 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON 915597-005は、フォトマスクのパターニング用途向けに設計されたフォトレジスト装置です。Stepper/Aligner Model 915597とExposure Unit Model 915596で構成されています。Stepper/Alignerは、12。7 x 12。7インチ（320mm x 320mm）までの大型フォトマスクで、ファインライン、高密度の3次元イメージング用の高精度、高速パターニングシステムです。X/Y座標がそれぞれ+-9。8インチまでの大きなフィールドサイズを備えており、最大速度は4000 x 4000um/secです。ユニットの露出ユニットは、最大3つのEVを提供し、リニア、分割、多層パターニングによるフォトマスクの正確な露出を可能にします。6 インチDUVランプによるインラインレチクル処理、キャリブレーションと測定機能の強化、パターン転送精度の高い高度なパターン検証を実現します。このマシンは、高速スキャンと高度なソフトウェア機能を組み合わせた完全自動ウェットおよびドライプロセスを備えており、スループット、柔軟性、使いやすさを向上させます。このツールは、生産環境に特に適しており、厳密な均一性と正確なオーバーレイ精度でプロセス制御を提供します。また、8インチのフォトマスクの同時露出も可能です。Stepper/AlignerとExposure Unitを組み合わせることで、線幅が狭くクリティカルな最小寸法のイメージング出力が向上します。このアセットには、ステッパー/アライナーに取り付けられたコイルレンズも装備されており、NA（数値開口率）が高く、歪みが少ない。全体的に、FSI 915597-005フォトレジストモデルは、フォトマスクパターニングプロセスに業界をリードする精度、解像度、スループット、再現性を提供するように設計されています。これは、生産プロセス全体にわたって繰り返し可能で、費用対効果が高く、効率的なイメージングを提供します。この装置は、半導体、マイクロエレクトロニクス、マスク製造、研究開発ラボなど、幅広い顧客の要件を満たすように設計されています。