中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON 915597-005 #9360974 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON 915597-005は、集積回路（IC）製造におけるウェーハ加工の精密エッチングを実現するフォトレジスト装置です。このシステムは、間隔のある独立したランプチャンバーアレイのビーム駆動ユニットに基づいています。このマシンは、インテリジェント自動レベル（IAL）、自動露出出力（AEO）、および高解像度マシン（HRS）などの高度な特許技術を使用しています。IALツールは、フォトレジスト層の光密度の測定を適用し、ICデバイスのレイアウトパターンの反応を最適な露光条件に合わせることができます。IALは、信頼性の高いステップとリピートリソグラフィーを提供し、あらゆる環境条件に合わせて調整します。AEOアセットは、複雑なパターンをフォトレジストに転送する際に信頼性の高いパフォーマンスを保証します。照明中の光の正確な制御と持続時間を提供し、IC設計に転送します。精度を確保するために、このマシンはまた、光の強度の量、露光範囲の幅、処理領域に沿った光の均一性などの要因を考慮に入れます。HRS機能によりフォトレジスト処理精度が向上し、超高解像度のレイアウトパターンを作成できます。デジタル制御と信号処理を組み合わせ、高精度を維持するために高速露光で発生する不規則性を補正します。これにより、エッチング中に投影やパターンを正確に複製することができ、品質の損失を防ぎます。FSI 915597-005フォトレジストモデルは、最高の業界基準を満たす精度レベルで高性能な結果を提供するように設計されています。Intelligent Auto Level、 Automatic Exposure Output、およびHigh Resolution Equipmentの組み合わせにより、集積回路製造における現実的な設計とエッチングパターンを作成するための理想的なソリューションとなります。