中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON 915597-005 #293700892 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON 915597-005装置は、高度なリソグラフィパターニングプロセス用に設計されたフォトレジスト加工システムです。ユニットのコンポーネントには、スピンプロセッサ、イメージングチャンバー、フォトレジスト搬送機が含まれます。スピンプロセッサは、フォトレジスト材料で基板を均等にコーティングする責任があります。スピンプロセッサはダイレクトドライブ技術を使用しており、プロセッサの速度を正確に制御できます。スピンプロセッサはまた、基板に必要なフォトレジスト材料の量を分配し、さまざまなプロセスアプリケーションで調整することができます。イメージングチャンバーは、基板を光にさらすための制御環境を提供する責任があります。このチャンバーには、ステージの動きを微調整するモーションコントロールツールが装備されています。チャンバーには基板を照らすためのフラッシュ光源も内蔵しています。フォトレジストデリバリーアセットは、スピンプロセッサに一貫したフォトレジスト材料を供給する責任があります。このモデルには、フォトレジスト材料を浄化し、汚染を防ぐためのフィルターの装置があります。FSI 915597-005システムは、高精度のフォトレジスト蒸着プロセスを提供するように設計されています。ダイレクトドライブ技術とモーションコントロールユニットを活用することで、プロセス変動の少ない基板のカバーを可能にします。また、非均一層厚さによるラインサイズのばらつきを低減することができます。さらに、フラッシュ光源は、より高い解像度の基板の照明を提供することができます。全体的に、TEL 915597-005ツールは、高精度のフォトレジスト蒸着プロセスを提供する高度なフォトレジスト処理資産です。この装置のスピンプロセッサ、イメージングチャンバー、フォトレジストデリバリーモデルが連携して、正確で一貫した基板カバレッジを提供します。ラインサイズのばらつきを低減し、さらに高解像度の基板露出を実現します。