中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON 8231 #9289834 を販売中

ID: 9289834
ヴィンテージ: 1982
Spin Rinse Dryer (SRD) 1982 vintage.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON 8231は、これまでにない性能と価値を提供する次世代フォトレジスト機器です。FSI 8231システムは、高度なチップ設計の最先端にあるリソグラフィープロセスを製造するために設計されています。その機能、機能、オプションの包括的な選択は、独自のクラスにこのフォトレジストユニットを置きます。TEL 8231は、革新的なダイレクトイメージング機能を使用して、高度な設計マイクロエレクトロニクス製造におけるより大きな解像度とスループットを実現します。このフォトレジスト機械はまた改善されたプロセス均等性および生産ライン正確さの制御を提供します。TOKYO ELECTRON 8231は、基板表面の画像を検出し、パターンに合わせて基板の関連部分を制御する高度なスキャンパターンジェネレータをベースにしています。このツールは、Deep UV、 Extreme UV、 Ion Implant技術などの幅広い露光技術もサポートしています。このフォトレジストアセットを使用すると、アプリケーションの厚さを正確に制御でき、露出をより大きく制御できます。この追加された制御層はまた、材料が過剰または不飽和によって無駄にならないようにします。8231はまた、印象的なパターン作成速度と自動プロファイル補正をプログラムする機能を誇っています。さらに、複雑な多層小型化パターンの設計を可能にし、精度を高め、ターンアラウンド時間を短縮します。最新のマイクロプロセッサ制御技術を搭載したFSI/TEL/TOKYO ELECTRON 8231モデルは、高い歩留まりで信頼性の高い製品品質を実現します。また、プロセス状況をリアルタイムで監視し、予期しない状況に迅速に対応します。その結果、FSI 8231装置は非常に信頼性が高く、大量生産には費用対効果が高くなります。全体的に、TEL 8231は印象的なパフォーマンスと機能を提供する最先端のフォトレジストシステムです。これは、高品質で正確に解決されたパターンを短時間で生成することが証明されているため、今日の最先端のチップ設計市場において貴重な生産ツールとなります。
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