中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON 2134N #9109608 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON 2134Nは、マイクロ電子部品の製造に使用されるフォトレジスト機器です。このシステムは、統合されたプロセス制御、高解像度および精密イメージング、および自動基板処理ソリューションを備えた先進的なユニットです。FSI 2134Nは、高度なイメージング技術を使用して、高解像度と高精度のイメージングを提供します。これにより、デバイスのフォトレジスト層を正確かつ迅速に露出させることができます。さらに、ダイレクトレーザーライティングを使用したレーザーツールや、正確な均一な制御のための露出制御アセット、高速応答を可能にする高速蓄積モデルなどの高度な機能も搭載しています。TEL 2134Nは、統合されたプロセス制御も備えています。これには、臨界寸法の正確な測定を可能にする革新的なin-situレーザー干渉計が含まれます。さらに、この装置には、基板の積み降ろしを容易にする自動基板処理システムと、完全に自動化されたセットアップおよび操作プロセスが含まれています。2134Nは、フォトレジストユニット製造工程において、高い精度と正確な生産制御を提供します。このマシンは、線量、露光時間、エッチング速度、焦点深度、基板温度、エッチング圧力などのさまざまなパラメータを含む、露光およびエッチング処理を制御するためのさまざまなオプションを備えています。さらに、統合されたプロセス制御により、プロセスの再現性と歩留まりが向上します。また、TOKYO ELECTRON 2134Nは、自動化のためのさまざまなオプションで構成することができます。これには、さまざまな自動基板処理ソリューション、自動校正ユニット、および完全に自動化されたセットアップおよび操作プロセスが含まれます。FSI/TEL/TOKYO ELECTRON 2134Nは、フォトレジストツール製造プロセスにおいて、高度なイメージング技術、統合プロセス制御、自動基板処理ソリューション、および精密制御を提供します。これにより、ユーザーは高精度で再現性の高い生産結果を得ることができます。