中古 FSI MERCURY MP #9189482 を販売中

FSI MERCURY MPは、半導体、MEMS、その他の精密部品にマイクロスケールおよびナノスケールパターンを作成するための比類のない高精細リソグラフィ機能を提供するフォトレジスト機器です。Mercury MPは、市場で最高のスループットと安定性を提供しながら、ユーザーに高解像度で正確な結果を提供するように設計されており、最終的には優れた歩留まりとコスト削減につながります。FSI MERCURY MPは、フォトマスク加工を必要とせずに、デジタル単層マスクからウェーハに画像を投影する特殊なマスクレススキャン技術を搭載した独自の光学イメージングシステムを採用しています。このマスクレススキャンユニットは、正確なアライメント精度と再現性により、最高の解像度を維持します。さらに、MERCURY MPは高度なオンサイト計測機能を使用して、パターンを正確に測定し、オーバーレイ精度を制御します。また、運転中に最適な熱管理のための高度な液冷ツールを備えているため、市場で最高の画像安定性と均一性を確保します。また、FSI MERCURY MPは、独自のロボットアプローチを使用してコーティングおよび剥離処理を行い、スピンコーティングからイメージングおよび剥離までのフォトレジスト処理ワークフローを最小限の間隔で自動化します。ロボットソリューションは、資産のスループットとプロセスの一貫性を向上させ、フォトレジストの消費を削減するのに役立ちます。MERCURY MPは工業生産用に設計されていますが、その洗練された設計により、研究開発にも使用できます。高度なレチクルの選択を切り替える機能は、複雑なプロセス要件に対応するのに役立ち、モデルを拡張して再構成して追加のツールとレチクルを統合することができます。要するに、FSI MERCURY MPは、マイクロスケールとナノスケールのパターンを厳密に処理するための比類のないリソグラフィ機能を提供する強力で効率的な機器です。このシステムは、優れた精度と精度で動作し、最高のスループットと画像の均一性、および効率を最適化し、フォトレジストの消費を削減するように設計された高度なロボット機能を提供します。