中古 FSI EXCALIBUR #293818919 を販売中

FSI EXCALIBURは、電子回路製造プロセスで使用するために設計されたフォトレジスト機器です。フォトレジスト露光機とフォトレジスト加工ステーションで構成されています。フォトリソグラフィでは、フォトレジスト層を使用して、マスクから半導体ウェーハに回路パターンを転送します。フォトレジストは光感受性材料であるため、望ましい結果を得るためには、光をフォトレジスト層に正確に向ける必要があります。EXCALIBURは、この目的のために設計されたシステムであり、高品質の回路パターンに必要な正確な露出を提供します。これは、最大2,048ミクロンの解像度でフォトレジスト層に画像を投影することができます。これにより、サブミクロン範囲までの極めて小さな機能の生産が可能になります。それは三重顕微鏡の目的およびミラーから成っている高度の直接イメージングの露出ルートを特色にします。これにより、フォトレジスト層の連続的で均質な露出が得られ、サブミクロン設計にフォトリソグラフィを組み込むことができます。FSI EXCALIBURは、露出機にウェーハを最適に配置するオートアライメントユニットなど、幅広い機能と機能を提供します。また、統合されたトレーシング、プリアライメント、ポストアライメント、オーバーレイマッピングも提供します。これにより、パターンの各レイヤーのプリマッチングが可能になり、特に大量の大規模なプロセスに適しています。さらに、EXCALIBURマシンにはフォトレジスト加工ステーションが付属しており、露出後にフォトレジストを慎重に処理するために使用されます。自動化されたチューニング可能なフォトレジスト処理アルゴリズムを提供し、処理時間とコストを削減しながら、回路歩留まりを最大化するように設計されています。また、熱真空制御システムと動的マスク検出ツールが統合されており、各層が一貫して露出していることを確認します。FSI EXCALIBURは、精密回路設計と多層生産に最適で、最高品質の結果を得るために、回路特性の微調整と制御を可能にします。これは、効率的で信頼性の高いフォトリソグラフィープロセスを容易にし、時間とコストを削減し、収量を最大化するのに役立ちます。