中古 FSI EXCALIBUR #293815451 を販売中

FSI EXCALIBURは、最先端の技術を使用して信頼性が高く、効率的で費用対効果の高いリソグラフィ機能を提供する半導体製造向けのフォトレジスト機器です。高度な化学およびカスタム設計されたハードウェアをベースに、高性能な分解能、再現性、およびユニットのダウンタイムを提供し、コスト効率の高いデバイス生産を可能にし、半導体製造のあらゆるステップでサイクルタイムを短縮します。EXCALIBUR機械の中心は多数の打撃上のパターン移動の強い付着、高解像度そして最低の損失を提供する専有フォトレジストの公式です。この製剤は、ポリマー、クロスリンク剤、光化学薬品、溶剤を独自にブレンドし、必要な性能を兼ね備えています。基板に分配した後、レジストは、直接イメージングマスクアライナーと可能な限り最高の解像度と画像忠実性を確保するために開発されたユニークな露出プログラムを使用するFSI EXCALIBUR露光プロセスに入ります。その後、フラッドプロセスまたは静的または動的スプレーディスペンスプロセスを介して基板が開発されます。フォトレジストツールに加えて、EXCALIBURプラットフォームは、現場の機器制御と高速かつ正確な検査を備えており、複数のショットにわたって反復可能で信頼性の高い結果を提供します。これにより、設計の変更がなくなり、生産コストが低くなります。さらに、独自の開発およびウェットクリーニングプロセスは、ピンホールおよびフォトレジスト残留物を完全に排除し、製造プロセスの期間中、信頼できる結果を保証するように設計されています。FSI EXCALIBURプラットフォームは、高度に構成可能なインターフェイスを提供し、簡単な調整と校正を可能にします。これにより、ユーザーは必要な基板とプロセスに資産の機能を迅速かつ正確に調整し、生産性とコスト効率を最大限に高めることができます。要するに、EXCALIBURフォトレジストモデルは、半導体製造のオールインワンソリューションであり、生産性とコスト効率の最大レベルで優れた結果を提供します。FSI EXCALIBUR装置は、カスタム設計されたハードウェア、独自のフォトレジスト製剤、および洗練されたin-situ機器制御および検査のおかげで、リソグラフィープロセスのあらゆるステップを駆動し、信頼性と再現性の高い結果を提供することができます。