中古 FSI EXCALIBUR #293759465 を販売中

FSI EXCALIBURは、モノリシックデバイス、超微細な回路パターン、および高精度の構造寸法の作成に使用されるフォトレジスト機器です。このシステムは、フォトマスク、レジスト、レーザー加工の使用を組み合わせて、望ましい結果を生み出します。フォトレジストユニットは液体フォトレジストを使用し、紫外線にさらされます。これにより、パターン化されたレジストフィルムが得られます。このフィルムはさらに、レーザー加工機と、インプロセスイメージング、電気分析、および表面地形に使用されるスキャンステージで処理されます。レーザーツールは、精密アブレーションやレジストフィルムのエッチングラインのカットに使用できます。レジストは、目的のパターンを作成するために削除することができます。アセットのフォトマスクは、所望の回路または構造パターンを配置するフラットプレートです。このパターンは液体フォトレジストにさらされます。レーザーモデルを使用して、目的のパターンをレジストフィルムに投影し、パターンをレジストフィルムにエッチングします。この装置は、コンピュータ制御システムを介してエッチングのプロセスを監視および制御するためにも使用されます。これにより、結果の精度が保証され、開発されたデバイスの最高精度レベルが保証されます。さらに、3Dイメージングおよびデータ解析用のソフトウェアを内蔵しており、詳細なポストプロセス解析機能を提供します。全体的に、EXCALIBURは、デバイス構造を作成するためのシンプルかつ高精度な方法を提供するフォトレジストマシンです。フォトマスク、レジストフィルム、レーザー加工を使用することで、高い精度で極めて精密な構造を作り出します。3Dイメージングおよびデータ解析機能により、正確な結果が保証され、高精度デバイスや超微細な回路パターンの作成に最適です。