中古 FOXBORO 920M #9033117 を販売中

FOXBORO 920M装置は、フォトレジストにさらされた表面の表面品質とコーティング構造を正確に制御するために設計されたフォトレジストプロセス制御システムです。このユニットは、DC電源、放射光源、フォトトランスデューサ、プロセスチャンバー、制御ユニットなど、いくつかのコンポーネントで構成されています。ターゲット920M厚さ、温度、エッチング率からフォトレジストコーティングの開発を制御するようにプログラムすることができます。FOXBORO 920MのDC電源は、基板にコーティングされた感光材料の伝送に一般的に使用されます。制御レベルを最大化するために、電源はプロセスサイクル全体で一貫したレベルの電力または電流を維持するように調整されます。この放射線源は、フォトレジストと基板の所望の波長の光または放射のビームを生成するために使用されます。このビームは、コーティングを監視するためにフォトトランスデューサに向けられます。920Mのプロセス部屋は感光性材料および基質が処理されるために非常に制御された環境を提供するように設計されています。チャンバーは通常、酸素やその他の汚染物質の基板への影響を低減するために不活性ガスまたは真空で満たされます。さらに、チャンバーは温度と湿度を制御し、プロセス全体で一貫した環境を維持します。チャンバーがロードされると、コーティングは放射線源にさらされ、写真トランスデューサはコーティングが進行するにつれて測定されます。FOXBORO 920Mのコントロールユニットは、フォトレジストコーティングのパラメータを調整する機能をユーザーに提供します。ユーザーはプロセス時間、露出時間、温度、湿気、流れおよび電圧を調節できます。さらに、制御ユニットは、コーティングの進行状況を追跡することができ、フォトトランスデューサによって監視されます。コントロールユニットはまた、コーティングプロセスの詳細な分析のための機能を提供し、フォトレジストコーティングをさらに最適化するために使用することができます。全体として、920Mは優れたフォトレジストコーティングプロセス制御ツールを提供します。これは、コーティングプロセスの開始から終了までの精密で自動化された制御を提供するように設計されています。FOXBORO 920Mは、フォトレジストコーティングの開発を制御し、厚さ、温度、エッチング率を目標にするために使用できます。このアセットにより、コーティングプロセスの詳細な監視と最適化も可能になります。