中古 EVG / EV GROUP 8002 #9384858 を販売中

EVG/EV GROUP 8002は、さまざまな用途に適したフォトレジスト機器です。このシステムは、小型から中型のアプリケーションに最適なフォトリソグラフィープラットフォームを備えており、マイクロエレクトロニクスユニット製造プロセスで使用するために設計された統合された6軸ロボットを備えています。また、5マイクロメートルの精度で部品を整列させることができ、幅広いプロセスに役立つツールとなっています。EVG 8002のフォトリソグラフィ面は、レーザーインターフェロムトレ（LIF）とブロードバンドソーシングアライメント（BBSA）の2つの主要コンポーネントで構成されています。LIFは、1マイクロメートルの分解能で位置公差を正確に測定するために使用されます。このアスペクトは、アライメントと再調整の作業中にコンポーネントを正確に配置するのに理想的です。一方、BBSAは、フォトリソグラフィ工程で使用される主な放射線源である。300〜1400ナノメートルの波長の光を放射することができ、感光部品を所望の放射レベルにさらすために必要なエネルギーを提供します。機器の面では、EV GROUP 8002には、お客様の特定の用途に合わせて設計されたさまざまなキットが付属しています。ウェハトランスポートモジュール、基板ホルダー、マスクプレートホルダーが付属します。さらに、このツールには、さまざまなレンズ、リフレクター、コンデンサー、中性密度フィルターなどのオプションの付属品まで、用途に合わせて幅広い光学系が用意されています。8002のコアは、マスクプレートとウェーハの正確かつ再現可能な位置決めを可能にする自動6軸ロボットです。また、マスクプレートやウエハーの動きを自動追跡することができ、基板ホルダに対する位置公差や露出時間を把握することができ、優れた配置精度と最小ドリフトを実現します。以前の露出設定は、後の生産バッチで使用するために再利用することもでき、プロセスが経時的に一貫していることを保証します。性能面では、EVG/EV GROUP 8002は、温度変動に関係なく、最小ステップサイズが0。1マイクロメートル、再現性が5マイクロメートルです。このレベルの精度により、優れた精度と再現性を実現し、厳しい許容範囲のアプリケーションに最適なソリューションです。このアセットは、15秒のサイクルタイムと1時間あたり10個の最大スループットで動作するため、中小規模の生産要件に最適です。要約すると、EVG 8002は5マイクロメートルの分解能で部品の正確なアライメントと露出を可能にする強力なフォトリソグラフィーモデルです。統合された6軸ロボットにより、マスクプレートとウェーハの動きを正確に追跡することができます。また、幅広い光学系の選択はカスタム互換性を提供します。この機能の組み合わせにより、EVGはさまざまなアプリケーションに必要な柔軟性を提供し、ほとんどの製造プロセスに最適なツールとなります。