中古 EVG / EV GROUP 301 #9358755 を販売中

EVG/EV GROUP 301は、さまざまな用途に使用されるフォトレジスト加工装置です。フォトマスクやウェーハ用のマスクの整列と印刷、基板の堆積、乾式および湿式エッチング、プロセスの開発、その他多くのパターン複製プロセスが可能です。このシステムは、研究開発プロジェクトに最適です。EVG 301には、基板とマスクのアイドル時間を短縮するためのクイックローディング機構を備えた、フォトマスクの正確なアライメントと正確な印刷を容易にする高度なパターニングユニットが装備されています。マシンのウェーハアライメントプロセスは、個別に制御された圧電（PEV）要素によって自動化され、パターニング時間をさらに短縮し、精度を向上させます。このツールはモジュラープラットフォームで設計されており、幅広いアプリケーションのニーズに合わせて簡単にカスタマイズできます。基質保持テーブルは一度に30までの基質を収容でき、資産は200°Cまで温度に達することができます。また、人間工学に基づいたリフト装置により、基板への容易なアクセスと取り外しが可能です。このシステムは、高度なマスク作成プロセスも提供しています。200ナノメートルスキャン場の光学ユニットと、基板とマスクの接点の力を調整するための露出制御を備えています。また、マスクポリッシュおよびファインフィニッシュ機能をコーティングすることができ、コーティング時間を短縮し、欠陥を最小限に抑えることができます。要するに、EV GROUP 301は、基板とマスクの処理時間を短縮する機能を備えた汎用性と信頼性の高いフォトレジスト加工ツールです。高度なパターニング技術やイメージング技術の研究開発に最適です。