中古 EVG / EV GROUP 301 #293606591 を販売中

EVG/EV GROUP 301は、フォトレジストのリソグラフィに最適な機器であり、ナノおよびマイクロエレクトロニクス製造業界におけるフォトマスクおよび転送プロセスの先端技術です。マイクロエレクトロニクス表面のパターニングと露出プロセスを正確かつ正確にアライメントするために設計されています。このフォトレジストシステムは、業界では前例のない、最大6 µmの極めて狭い機能サイズで、高解像度のフルオートリソグラフィを可能にします。また、非常に信頼性が高く、高真空で優れた機能分解能を使用できます。EVG 301フォトレジストユニットには複数の機能が搭載されており、200mmまでのさまざまなウエハサイズに対応できます。ウエハを露出するための高出力UV光源と、ウエハにパターンを投影するためのパターンプロジェクターを備えています。機械はまた露出の線量、位置、焦点およびズームを制御することができます。さらに、多数のセンサーとフィードバックシステムを搭載しており、ウェーハ上の位置決めと露出プロセスにおいて高い精度と精度を確保しています。用具はまた線量のタイミングおよび位置、また計量学およびパターン化のための統合された制御が装備されています。これにより、アライメントと露出から印刷まで、リソグラフィープロセス全体を完全に制御および制御できます。さらに、このアセットには自動クリーニングサイクルが含まれており、フォトマスクとウェーハ表面を定期的に洗浄し、再現性と正確な結果を保証します。EV GROUP 301フォトレジストモデルは非常にユーザーフレンドリーで、ユーザーに多くの利点を提供します。特長サイズが6 µmという極めて高解像度の画像を作成することができ、短波および中波の紫外線と真空チャンバーの両方の環境で動作するように設計されています。また、正確な登録データを提供し、パターニングと露出プロセスを制御するために使用することができます。