中古 EVG / EV GROUP 250AV #9400866 を販売中

EVG/EV GROUP 250AVは、薄膜エレクトロニクス、医療技術、光学部品など、さまざまな用途でマイクロスケールおよびナノスケールの構造を作成するために使用されるフォトレジスト機器です。レジストコーティング、露出、開発、後処理を1つのユニットに組み込み、複数の工具や工程を必要とせずに均一で再現可能なパターニングを可能にします。EVG 250AVには、最大1KVの充電用量を提供するユニークなレジストコーティング成膜ヘッドが含まれています。このヘッドは、基板にフォトレジスト材料を均等に被覆します。通常は、フォトハードニングと化学増幅フォトレジストの組み合わせです。フォトレジストの用量を基板に制御することで、デバイス製造に適した極めて均一で高解像度のパターンを実現できます。また、高度な設計アルゴリズムと自動化されたアライメント機能を備えた光学インタフェースも内蔵しています。この高度なインターフェイスにより、ユーザーは優れた配置精度と均一性で基板上に明確に定義されたパターン転送を行うことができます。また、光学インタフェースは広範囲の露光波長をサポートし、デバイス製造における先端材料の使用を可能にします。EV GROUP 250AVには、コーティング基板上に開発者を自動的に分配する高精度の開発ツールが含まれています。このアセットにより、均一で一貫した開発が保証され、優れた解像度と均一性でパターン転送が可能になります。さらに、レシピやハードウェアを変更することなく、さまざまな種類の基板を開発することができます。最後に、250AVは、ユーザーが任意の余分なフォトレジストを削除し、パターン転送品質を向上させることができます後処理ステップが含まれています。この後処理には直流（DC）アッシングとプラズマ補助アッシングを使用し、基板表面から不要な残留物を選択的に除去します。さらに、ユーザーは、パターン転送プロセスを完了するためにポストエッチングや他の治療法を組み込むことができます。結論として、EVG/EV GROUP 250AVフォトレジストモデルは、マイクロスケールおよびナノスケール構造をパターン化するための自動的かつ均一なソリューションをユーザーに提供します。高解像度、均一性、精度の高い効率的なパターン転送を可能にし、複雑なデバイスの製造を可能にします。