中古 EVG / EV GROUP 250AV #9200716 を販売中

EVG/EV GROUP 250AVは、高度なフォトリソグラフィ技術者向けに設計された高度なフォトレジスト機器です。このシステムは、高精度で複雑な構造を作成することができ、フォトリソグラフィ技術のための理想的なツールとなります。このユニットは、X、 Y、 Z軸で正確に移動できる特別な真空チャックとPC制御モーター付きステージを使用しています。これにより、加工するウェーハや基板の正確な位置決めが保証されます。これにより、マシンはエラーを最小限に抑えて複雑で詳細なパターンを作成できます。このツールには、レーザー垂直参照を使用してウェーハの位置を検出し、ターゲットパターンに関して正しく配置する自動ウェーハアライメントアセットも装備されています。これは正確なアライメントのために不可欠であり、アライメントのずれによるパターンの不要な歪みの可能性を排除します。露光プロセスは、高輝度の水銀ランプによって処理されます。このランプは、フォトレジスト露光とドライレジストエッチングの両方に使用できる近紫外波のスペクトルを提供します。強度、持続時間、波長など、露出プロセスの各パラメータは慎重に制御されており、複数の露出レシピ用の内蔵メモリ機能を将来使用するために保存することができます。EVG 250AVは、さらなる露光プロセスを制御するための電気バイアスモデルも備えています。このバイアス装置は、露出している材料に一定の電圧を適用し、さまざまな物理特性の正確なチューニングを可能にします。これは、絶縁層や化学機械研磨などの後処理手順にも使用できます。最後に、環境温度を正確に制御できる高度な熱制御ユニットを搭載しています。これにより、基板全体にわたって正確かつ均一な露出が保証され、一貫した結果が得られ、デリケートな材料の焼損や損傷を回避できます。EV GROUP 250AVフォトレジストマシンは、卓越した精度と品質でマイクロパターンを作成するように設計された高度で高性能な機器です。高度な電動ステージ、自動ウェーハアライメント、高度な熱制御を組み合わせたこのツールは、優れた精度と精度で非常に複雑な構造を作成することができます。