中古 EVG / EV GROUP 150 #9398332 を販売中

製造業者
EVG / EV GROUP
モデル
150
ID: 9398332
Automated spray coating system, parts system With STAUBLI TX90 LCR Robot.
EVG/EV GROUP 150フォトレジスト装置は、高性能のマイクロエレクトロニクスコンポーネントを精度と速度でエッチングするように設計された産業グレードのマイクロエレクトロニクスリソグラフィーシステムです。このユニットは、複雑な形状を基板に伝達するための技術であるリソグラフィに基づいています。EVG 150は、ステッパー/スキャナーユニット、オートフォーカスツール、スキャナコントローラを搭載した自動化されたマシンです。ステッパー/スキャナユニットはアセットの主成分であり、基板配置用の固定ガラステーブルを備えたステージが含まれています。5ナノメートル(nm)以下の極めて低い歪みを持つ高精度顕微鏡の目的を持っています。これにより、必要なマイクロエレクトロニクス回路の正確なレイアウトを正確に画像化および彫刻することができます。オートフォーカスモデルは、冷却されたデジタルカメラを使用して画像を基板に正確に集中させるため、フォトレジスト機器のもう一つの重要なコンポーネントです。また、基板の欠陥を検出し、フォトレジストのリアルタイムイメージングを行い、機器の最適な性能を確保することができます。これは、使用されている光の強度を計算し、それに応じてオートフォーカスを調整することによって行われます。また、EV GROUP 150ではレーザー誘導可視化ユニットを採用し、基板にエッチングされたパターンの精度を確保しています。150は非常に信頼性が高く、稼働率は99。5%を超えています。これは非常に自動化された機能により、オペレータの介入を最小限に抑えることができます。また、高度なプロセス最適化技術を使用しているため、デバイスは任意のアプリケーションに最適なパラメータとセットアップをすばやく確認できます。さらに、このツールはモジュラーアプローチで設計されており、ユーザーは個々のニーズに最適なオプションとアドオンをカスタマイズできます。全体として、EVG/EV GROUP 150フォトレジスト資産は、高精度で高性能なマイクロエレクトロニクス部品を製造するための印象的な自動化ソリューションです。業界をリードする精度と精度を提供し、複雑なデザインを簡単に作成できます。モジュラー設計、堅牢な機能セット、業界をリードする信頼性を備えたEVG 150は、マイクロエレクトロニクス業界に最適です。
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