中古 EVG / EV GROUP 150 #9396120 を販売中

EVG/EV GROUP 150は、幅広い工程で効果的で高性能な結果を得るために設計されたフォトレジスト機器です。フォトレジストは、マイクロエレクトロニクスや半導体アプリケーションで広く使用されており、このシステムはフォトリソグラフィープロセスを有効にするための最新かつ最も信頼性の高いツールを提供しています。EVG 150は、さまざまなアプリケーションに迅速に再構成できる統合されたモジュラープラットフォームを備えています。このユニットは、i-lineソース、エネルギービーム、照明モジュール、スイープスキャナ、反射フォトマスクなど、幅広いリソグラフィーハードウェアとアクセサリを提供しています。これらのコンポーネントは、自動化された高性能プロセスソリューションを提供し、調和的に連携するように設計されています。また、オートフォーカス、ブラシレス真空ステージ、高度な画像補正技術など、高精度コンポーネントとさまざまな高性能オプションを備えています。このツールの統合プラットフォームには、グラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）とテキストウィザードの両方を含む、使いやすく強力なユーザーインターフェイスが追加されており、ユーザーはプロセス手順と構成をすばやく簡単に切り替えることができます。ユーザーインターフェイスにより、ユーザーは広範な製品固有のライブラリにアクセスし、それらを資産に統合することができ、開発およびテストされたプロセスと構成を容易に採用することができます。このモデルはまた、プロセス固有の機能と監視ユーティリティの範囲を備えており、オペレータがワークフローを管理し、最高品質の結果を保証するのに役立ちます。これには、自動温度制御装置を介して硬化、乾燥、ベーキング、剥離などの生産プロセスを監視および制御する機能が含まれます。さらに、制御とプロセスの継続性を高めるために、レイヤー固有のプロセス最適化のためのさまざまなレシピもサポートしています。EV GROUP 150は、堅牢なプラットフォームに加えて、オートフォトマスキング、画像処理、画像復元、歩留まり監視など、生産に関連するさまざまな監視、ビジョン、品質管理機能も統合されています。これらの機能は、品質やパフォーマンスを損なうことなく、ユーザーが効率的で途切れることなく生産を達成できるようにするのに役立ちます。150は、幅広いフォトレジスト関連のプロセス手順で優れた結果を提供するためのエンドツーエンドのソリューションを提供します。革新的で信頼性の高いコンポーネント、統合されたプラットフォーム、強力なユーザーインターフェイスにより、このユニットはユーザーが最も要求の厳しい要件を満たすために迅速かつ効果的な結果を達成するのに役立ちます。