中古 EVG / EV GROUP 150 #9289394 を販売中

EVG/EV GROUP 150は、ウェハスケール製造用に設計されたフォトレジスト装置です。これは、それぞれ独自の目的を持つ、異なるモジュールのシリーズで構成されています。システムの主なコンポーネントは、ウェーハステーション、ホットプレート、光源、制御ステーション、および環境チャンバーです。ウェーハステーションは、ウェーハのローディングとアンロード、並びとクリーニング手順を可能にします。ホットプレートは露出プロセスの前に基板を加熱するために使用され、光源はウェーハ上に所望のパターンを作成するために使用されます。コントロールステーションを使用すると、パターンサイズ、形状、露出時間などのパラメータを調整したり、プロセスを監視したりできます。最後に、環境チャンバーは、露出プロセス全体の制御環境を維持するために使用されます。フォトレジストユニットは、1ミクロンの分解能で最大12インチの基板を実現できます。アニーリング、差動エッチング、ウェーハ薄型化など様々な加工が可能です。また、シングルショット、ステッパー、マトリックスなど、さまざまな露出技術を備えています。evanescent照明機能は、最大0。2ミクロンの解像度で3次元設計の生産を可能にします。このツールはまた、ユーザーフレンドリーであり、リモコンから操作することができます。また、画面が内蔵されており、プロセスを簡単に監視できます。この資産には、プロセス中の問題を報告する自動監視および警告モデルもあります。結論として、EVG 150はウェハスケールの製造に適した信頼性とユーザーフレンドリーなフォトレジスト機器です。1ミクロンの分解能を持ち、様々な露光技術で最大12インチの基板を製造することができます。それはまたプロセスの容易な操作そして監視のための自動監視および警告システムが装備されています。