中古 EVG / EV GROUP 150 #9269960 を販売中

EVG/EV GROUP 150は、EVG （EV GROUP）の高精度フォトレジスト加工装置です。フォトレジスト加工システムは、レーザー顕微鏡やエッチングツールなどの光学アタッチメントを使用して基板表面をエッチングまたはパターン化します。EVG 150は、高度な機能と優れたパフォーマンスのユニークな組み合わせを提供します。ユニットは3つのコアコンポーネントで構成されており、それぞれ独自の機能と機能を備えています。高精度ウエハステージ、スキャン光学ユニット、UV-LED光源を内蔵しています。ウェハステージは、手動操作と自動操作の両方が可能です。フォトレジスト加工用基板の取得・位置決めにおいて、高い再現性を発揮するよう設計されています。スキャン光学ユニットは、高画質を保証する高度な光学部品で設計されています。10Xから250Xまでの倍率で複数の投影目標を振ることができます。また、光学ユニットには独自の高感度深度制御機が装備されており、加工中に正確なフォーカスを確保します。UV-LED光源は、高出力で安定した光源を提供するように設計されています。高精度のエッチングまたはパターニングを実現するために、最大12mのパルスを生成することができます。光源には、シャッター、速度、電圧、電流調整などの正確な制御メカニズムが含まれています。これらの機能を組み合わせることで、EV GROUP 150はフォトレジスト加工時に優れた性能を発揮します。基板の高精度アライメント、高解像度イメージング、パターンの精密エッチングが可能です。さらに、このアセットには直感的なユーザーインターフェイスが含まれており、ユーザーはパラメータを簡単に制御し、プロセスをリアルタイムで監視できます。全体として、150はフォトレジスト処理アプリケーションに最適なモデルです。直感的なユーザーエクスペリエンスを提供しながら、高精度と信頼性を提供します。特徴と機能のユニークな組み合わせは、敏感な基板や複雑な形状のパターン処理に最適です。