中古 EVG / EV GROUP 150 #9195110 を販売中

EVG/EV GROUP 150は、感光材料の層をさまざまな物体の表面に堆積させるために使用されるフォトレジスト装置です。このシステムは、ナノパターン、3次元フィルム、機能性コーティングの大規模な生産に使用される先進的な材料加工ツールです。単位は2つの主要な部品から成っています：走査器および基質の段階。スキャナは、5軸ポジショニングと0。8 μ mの解像度を備えたスキャン投影マイクロフォトリソグラフィーマシンです。基板の位置にナノスケールの特徴を敏感かつ正確に形成するために使用されます。基板ステージは、標本をマウントして整列させるために使用されます。XZY平面での6度の自由度（DOF）運動、登録マークを提供し、試料を回転して回転させることもできます。一般的に、このツールは、基材にフォトレジストの層を堆積するために使用されます。これは、基質を紫外線（UV）光にさらすことによって行われます。フォトレジストが開発され、露出した領域を選択的に除去し、所望のパターンを形成することができます。露出と開発のプロセスは、望ましいパターンとフィルムを達成するために何度も繰り返されます。このアセットには、温度、露出期間などの露出および開発パラメータをプログラムするために使用できるソフトウェアもあります。これにより、複雑なプロセスを実行する際の精度が向上します。さらに、このモデルは、他の機器やソフトウェアとのさまざまなインタフェースと統合機能を提供し、より効率的なセットアップとワークフローを可能にします。最後に、機器には、内蔵のアラームや緊急時のシャットダウンなど、さまざまな安全機能があります。これにより、すべてのユーザーに安全でエラーのない操作が保証されます。全体的に、EVG 150フォトレジストシステムは、ユーザーが高精度と精度の基板にフォトレジストの層を堆積することを可能にする高度な材料処理ツールです。このユニットは、ユーザーが複雑なプロセスを安全かつ効率的に実行できるさまざまな機能と機能を提供します。