中古 EVG / EV GROUP 150 #293823320 を販売中
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ID: 293823320
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2013
Coater / Developer system, 8"
Resist processing system
Automated resist processing station
(3) Spin modules: Bake, chill and vapor prime
Send / Receive cassette station with ergo load mounts
Cassette to cassette handling
2013 vintage.
EVG/EV GROUP 150フォトレジスト装置は、高度な半導体プロセスのためのウェーハの製造を支援するために設計された強力なツールです。このシステムは、高スループット、高解像度のウェーハステッピング、スキャン、パターニング機能を備えているため、ラピッドプロトタイピング、大量生産、歩留まり改善、フォールトアイソレーションのニーズに最適です。EVG 150は、高精度のスピンコーターとプログラム可能なウェーハ位置決めステージを使用して、パターン操作が再現可能で一貫していることを保証する完全自動化されたユニットです。このマシンは、最大直径300mm (12インチ)までの幅広いウェーハサイズをサポートするように設計されています。フォトレジスト堆積は高精度であり、最適な結果を得るために正確に制御することができます。さらに、ODM、インクジェット印刷、マイクロコンタクト印刷などの特殊プロセスには、さまざまなアプリケーションヘッドが用意されています。EV GROUP 150に付属するソフトウェアパッケージは非常に高度で、正確な再現性と迅速な応答性を確保するために簡単にプログラムすることができます。また、高度なエッジ検出とパターンアライメントツールを備えているため、パターンを正確に整列および整列することができます。150は、オフラインおよびインラインフォトレジストアプリケーションの信頼性と効果的なツールです。それは生産ラインに容易に統合することができ、それを多くの異なった実験室および生産の環境の使用のために理想的にさせる非常に小さい足場があります。さらに、このツールは比較的使いやすく、メンテナンスも簡単で、さまざまな標準コンポーネントやアクセサリーが用意されています。全体として、EVG/EV GROUP 150は、研究室や生産ラインに多くの利点を提供する高性能フォトレジスト資産です。高精度のウェーハ位置決めステージ、高度なエッジ検出およびパターンアライメントツール、簡単なユーザーインターフェイスにより、このモデルは、フォトリソグラフィやその他のパターンのニーズの広い範囲を満たすために使用することができます。この装置の強力な機能は、半導体ウェーハを正確に製造または改善する必要がある人に最適です。
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