中古 EVG / EV GROUP 150 #293820988 を販売中

EVG/EV GROUP 150フォトレジストシステムは、高精度のレジストイメージングとパターニング結果を提供するために設計された最先端の機器です。マスク露出作業とダイレクトライトタイプのアプリケーションの両方に最適です。システムのコアコンポーネントには、低エネルギーエキシマレーザー、電動プロジェクションレンズ、真空チャック、およびさまざまなソフトウェアおよびハードウェアモジュールが含まれます。EVG 150のレーザーに248nmの波長、4.6mJパルスエネルギーおよび短いデューティサイクルのための40nsの脈拍長があります。0。2 µmまでの機能サイズのマイクロストラクチャーを提供できます。さらに、パターン精度は1ミクロン以内です。電動プロジェクションレンズは、30mm-70mmの視野にわたって高解像度のイメージング機能を提供します。垂直16倍、水平10倍、開口数は0。4倍です。レンズは、正確な焦点のために手動で調整可能な生徒機能を備えています。EV GROUP 150の真空チャックは、被曝時の基板応力や機械的歪みを伴わずに高品質のレジストパターニングを可能にします。真空チャックは最大4インチのサイズの基板を持ち、基板の積み込み、位置決め、および安全なクランプのために簡単にクリアされます。150は、その洗練されたソフトウェアとハードウェアコンポーネントのおかげで最も正確な結果を生成します。そのソフトウェアは、ユーザーが対話し、イメージングとパターニングツールを制御することができます、そのハードウェアコンポーネントは、オートフォーカスなどの高度な機能を提供しながら、,イメージングの比較の前後に、自動パターニングと露出管理だけでなく、リアルタイム分析。これにより、ユーザーはパラメータを迅速に調整し、生産時間を短縮することができます。EVG/EV GROUP 150フォトレジストシステムは、半導体リソグラフィ、フラットパネルディスプレイ、高度なパッケージング、およびマイクロ流体などのアプリケーションに最適なソリューションです。優れた光学性能、イメージングおよびパターニングパラメータの正確な制御、処理時間の短縮を提供し、最高品質の結果を達成するために不可欠です。