中古 EVG / EV GROUP 150 #293809532 を販売中

EVG/EV GROUP 150は半導体産業のフォトリソグラフィの生産のために設計された高度なフォトレジスト装置です。高度な冷却システムを搭載し、EVG 150 mmまでの高解像度フォトマスクを製造することができます。このユニットは液晶ディスプレイ（LCD）タッチスクリーンインターフェイスを備えており、ユーザーはHDの明瞭さで自分の画像を視覚化することができます。このマシンは、最先端の液晶ディスプレイ（LCD）タッチスクリーンインターフェイスを搭載しており、最適なユーザー制御と高レベルの画像解像度を提供します。さらに、高解像度のHD画像は、マスクの製造における高精度を保証します。このツールは、1ピクセルあたり1。2ミクロンの解像度を達成することができます。このアセットには、真空ポンプと基板の位置合わせのためのステージが装備されています。ステージには、ウェーハチャックとウェーハ回転用のドライブモデルも含まれています。さらに、この装置には、基板加熱プロセスを支援し、基板全体の温度均一性を提供するための取り外し可能なホットプレートが含まれています。フォトマスクは、基板全体に広がる光感受性エマルジョンを使用して露出します。また、露光時間を最適化し、均一な光出力を実現する高度なシャッターユニットと照明器具を備えています。フォトマスクは、特殊な評価機を使用して欠陥や不整合をチェックするために評価されます。EV GROUP 150ツールは、リソグラフィープロセスの性能を評価し、一貫して高い生産レベルを確保するために開発された優れたポストプロダクション分析資産を備えています。このモデルは、リソグラフィだけでなく、他の生産プロセスも分析することができます。自動レポート機能により、ユーザーは生産結果をすばやく評価できます。150は、高度なフォトレジストシステムから要求される利便性、柔軟性、および信頼性をユーザーに提供します。高解像度で強力な機能により、ユーザーは一貫した高解像度マスク、効率的な生産分析、信頼性の高い操作を確実に行うことができます。