中古 EVG / EV GROUP 150 #293759601 を販売中

EVG/EV GROUP 150は、マスクの自動アライメント、露出、開発後の処理を1つの機器で行うフォトレジスト機器です。これは、さまざまな用途でさまざまなフォトレジスト材料を処理するためのプロのツールです。このシステムには、マルチモードソース、レーザーアライメントマシン、および輝度コントローラからなる光学アライメントと露出ユニットが内蔵されています。このツールはまた、スピンエッチング、添加処理、ストリップ処理など、さまざまなポスト開発機能を提供します。EVG 150は、スピンオンガラス（SOG）やフッ素樹脂フォトレジストなど、さまざまなフォトレジスト材料を加工するように設計されています。アディティブエッチング、フォーメーションによるブラインド、差動エッチング、マスター基板加工などのプロセスを可能にするように設計されています。この資産は、最大1000nmのエッチング深度で、さまざまな厚さをエッチングすることができます。EV GROUP 150は、自動マスクアライメントモデルを搭載し、フォトレジスト層を露出する際の精度と再現性を向上させます。マスクは、最大50 μ mの範囲で、精密な機械的アライメントステージに取り付けられています。また、パターン認識用のデジタル画像取得システムを搭載し、正確なパターン配置を実現しています。このユニットはまた、フォトレジスト材料の範囲の露出能力を提供します。高出力405nmレーザー、工業用Ar-ionレーザー、紫外線（UV）レーザーなど、さまざまな光源を備えています。35 μ sから35秒までの露光時間を備えており、さまざまなフォトレジスト素材に合わせて幅広い露光時間とパワーレベルを実現します。150はまた自動後処理機能を提供します。スピンプロセッサを搭載し、様々な厚みをワンステップでエッチングできます。また、添加加工も可能で、蒸発性コーティングなどの特定の材料の層を適用することができます。さらに、このツールは露出領域からフォトレジストを正確に除去するストリップ処理を提供することができます。EVG/EV GROUP 150は、さまざまなフォトレジスト加工アプリケーションに最適です。それは正確で、反復可能で、信頼できる結果を可能にし、あらゆるフォトレジスト材料を処理するのに使用することができます。この資産は、多くの後処理機能からも恩恵を受けており、高度な研究開発に最適なソリューションとなっています。