中古 EVG / EV GROUP 150 #293617649 を販売中
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EVG/EV GROUP 150は、フォトリソグラフィ用途向けに設計されたフォトレジスト機器です。このフォトレジストシステムは、半導体、通信、医療機器製造など、さまざまな業界で使用されるように設計されています。このユニットは、プロセッサモジュールと基板処理モジュールの2つのモジュールで構成されています。プロセッサモジュールは、フォトレジスト材料に必要なプロセス手順を提供するように設計されています。これは、ツールアライメントやプロセスの結果や画像を記録するために使用することができます構成可能な統合カメラが含まれています。基板加工モジュールは、個々の基板を保持、輸送、および処理するように設計されており、均一で反復可能なプロセス手順を可能にします。このマシンのプロセッサモジュールは、露出前および露出後のレジスト、開発者、クリーニング、ソフトベーキングプロセスなど、複数のプロセスステップを制御することができます。このモジュールは、オートフォーカス、オートアライメント、オートエクスポージャー機能を備えた統合ビジョンツールも提供します。このアセットにより、レジストプロファイルを現場で評価し、レジストプロファイルとイメージングパラメータを最適化することもできます。基板加工モジュールは、複数の基板およびプロセスを並列に処理するように設計されています。アプリケーションに応じて、インラインまたはバッチプロセスとして機能することができます。ウェーハ、パネル、その他の大面積構造などの基板を幅広く提供し、プロセスのさまざまな部分を個別に調整または監視することができます。また、レジストプロファイルをテストし、機械的欠陥を検出するための柔軟性センサーを備えています。また、UV保護用のセーフティシールドや、複数のセンサーやアラームを備えたプログラム可能なセーフティルーチンなど、幅広い安全対策を提供しています。さらに、診断ルーチンと、ユーザー定義の特性評価ルーチンを統合できるオープンプラットフォームを備えたIVカーブトレース装置が含まれています。結論として、EVG 150 Photoresist Systemは、さまざまな産業用フォトリソグラフィ用途に適した機能を提供します。これは、さまざまなプロセス制御機能と安全対策を備えた構成可能でユーザーフレンドリーなフォトレジストユニットです。半導体、通信、医療機器製造など幅広い用途にご使用いただけます。
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