中古 EVG / EV GROUP 150 #293615061 を販売中

EVG/EV GROUP 150フォトレジスト装置は、フォトレジストのパターンを基板に素早く転送できる最先端のフォトレジスト開発システムです。商用および半導体アプリケーション向けに設計されており、精密なレジストコーティングとパターニングに必要な高度な機能を提供します。EVG 150ユニットは、フィルムアプリケーターの柔軟性とステッパーの精度を兼ね備えています。様々なレジストの厚さ、パターンのピッチ、基板を使用することができるため、非常に適応性があります。この機械には、コーティング、メモリ配置、露出、開発、およびその他のポストプロセス工程が含まれています。フォトレジストツールには、ユニークなWebトランスポート機構とベルト駆動計測機能が搭載されているため、広い領域で迅速かつ均一にレジストの高品質で均一なコーティングを作成できます。アセットは、オーブン、トランスファーチャンバー、露出モデルの3つのコンポーネントで構成されています。オーブンは、コーティングとパターンを容易にするために基板を予熱するために使用されます。トランスファーチャンバーには、基板にレジストの層を追加するWebトランスポート機構が含まれています。露出装置は紫外線をレジストパターンに集中させ、その後、望ましいイメージを作成するために開発されます。このシステムは、高精度な結果を保証するために設計された多くの機能を備えています。例えば、XYステージは高解像度エンコーダで設計されており、基板上にレジストパターンを正確に配置することができます。このソフトウェアは、公差とプロセスのバリエーションを補うことができる強力なアルゴリズムと自律的なパターン配置を利用しています。また、特許取得済みのパターンオーバーレイ検証機を搭載し、イメージング技術を用いてパターンフィデリティを評価します。EV GROUP 150フォトレジストツールは、基板上に微細なパターンを作成するための強力なツールです。それは信頼でき、使いやすく、高品質の結果を作成するために必要な正確さ、柔軟性および高度な機能を提供します。