中古 EVG / EV GROUP 150 #293606734 を販売中

EVG/EV GROUP 150は、ウェーハ上にフォトレジスト層を堆積する半導体業界で使用されるフォトレジスト機器です。シーケンス制御プロセスに基づく独自の技術を使用して、優れた均一性と精度で複雑なレジスト構造を作成します。フォトレジストシステムは、ウェハホルダー、制御モジュール、照明モジュール、フォトツール、フォトレジストモジュールの5つの主要コンポーネントで構成されています。ウェーハホルダーは、フォトレジストを塗布する際に基板を保持するために使用されます。精密機械で造られたホールダーはプロセスの間に滑らないで基質を安定した保持するように設計されています。制御モジュールは、ユニットの脳です。フォトレジストシーケンス全体を制御し、ユーザーインターフェイス（UI）を介してプログラムされます。一貫したパターン精度を維持するために、レジストパラメータやその他のプロセスステップを監視します。照明モジュールは、基板上のフォトレジスト層を露出するために使用される高出力光源です。それはプログラム可能な、精密な、均一な光強度および波長範囲を提供するためにフォトレジスト機械に統合されます。フォトツールは、フォトレジストプロセス中にウェーハを移動および制御し、プロセス工程の間でウェーハを移動するために使用される真空ロボットアームです。フォトレジストモジュールは、基板にフォトレジストを適用し、フォトレジストツールのキーコンポーネントです。フォトレジストの正確で均一なアプリケーションは、プロセスの最も重要な側面であり、制御モジュールを介して制御されます。EVG 150 Photoresist Assetは、優れたパターン精度、再現性、および接着性を備えた精密で均一なレジスト構造を作成するために、半導体業界で広く使用されています。このモデルは、正確なフィーチャーサイズ制御と均一性を備えた複雑で複雑なフォトレジスト層を生成することができます。さらに、高精度、高効率、再現性を提供し、歩留まりと製品品質を向上させます。