中古 EVG / EV GROUP 120 #9229820 を販売中

EVG/EV GROUP 120は、集積回路やその他の高度で高精度なアプリケーションの製造のためのマイクロナノスケール機能の作成に使用されるフォトレジスト機器です。超高精度光学テーブル、高精度電動段階、特許取得済みの高解像度イメージング技術を搭載しています。このシステムは、ナノ構造を作成するためにリソグラフィ処理を使用します。フォトレジスト（photoresist）とは、薄い層で基板に塗布される光感受性材料のことです。フォトレジスト層は光にさらされ、化学反応を引き起こし、レイヤーの断面を選択的にエッチングすることによってパターンを作成することができます。プロセスは、所望のパターンが形成されるまで繰り返されます。EVG 120は、パターンアライメント用のミクロン精度の直交電動ステージを備えています。このユニットは、正確なパターンアライメントに不可欠な光学テーブルへの基板の非常に正確で再現性の高いアライメントを可能にします。また、特許取得済みのイメージングマシンを搭載しており、最大100ナノメートルの特長を持ち、ゾーンあたりのノイズレベルは≤ 0。1nm RMSです。これにより、欠陥率が非常に低い高精度で詳細な画像を作成できます。このツールは、ポジティブトーン、ネガティブトーン、バイナリレジストなど、さまざまなフォトレジストと互換性があります。マイクロエレクトロニクス、MEMS（マイクロエレクトロメカニカルシステム）、オプトエレクトロニクス、センサーなど、幅広い用途に適しています。EV GROUP 120は、さまざまなナノ構造の製造に適した、非常に精密で信頼性の高い資産です。高度な光学テーブル、高精度の電動ステージ、超高精度イメージングモデルにより、非常に低い欠陥率で複雑な機能を作成できます。この装置は、集積回路やその他の小規模構造を製造する組織にとって貴重なツールです。