中古 EVG / EV GROUP 120 #293595254 を販売中

EVG/EV GROUP 120フォトレジスト装置は、高度なナノ加工アプリケーションに高度な精度を提供するモジュラー型ターンキーリソグラフィーツールです。このツールは、最大12個の独立した基板と最大2個の並列光学素子を備えた、フィールド交換可能な高真空の蒸発器ユニットを備えています。モジュール性により、高精度加工とパワフルなパターニング機能を実現します。EVG 120システムは、高度な光学部品と物理部品を使用して、正と負のフォトレジスト開発者や高解像度フォトマスキングなど、幅広いリソグラフィーオプションを提供します。サブミクロンレベルの光学マスク、シリコン、ガラス、サファイア、石英、金属、有機材料など、さまざまなマスク材料や基板を使用できます。フルパラレル処理を採用し、素早い基板回転と高度なシャドーイングが可能です。また、高いスループットの最適化、ユーザー定義のプロセスパラメータ、自動位置決め、高度な自動化を可能にします。このツールには、高度なユーザー定義校正も含まれており、正確で再現性の高い結果を得ることができます。この資産はまた、高度な制御機能を提供し、データロギングを含む監視システム、改善されたプロセス制御と品質保証を可能にします。EV GROUP 120の高度でユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスは、セットアップ、プロセスパラメータ制御、リアルタイム監視への迅速なアクセスを提供します。このモデルはまた、レシピデータセットの開発とメモリにレシピを保存してリコールする機能を可能にします。この装置の設計により、他のプロセスモジュールを統合することができ、システムにさまざまな機能をもたらします。高度な幅広いリソグラフィ機能を備えた120フォトレジストユニットは、研究開発、生産、プロトタイピング作業に最適なソリューションです。このマシンは、精密プロセス制御と高スループット最適化を提供し、高度なナノ加工アプリケーションに最適です。