中古 EVG / EV GROUP 120 #293590417 を販売中

EVG/EV GROUP 120は、ナノリソグラフィおよびウェーハ処理用に設計されたリソグラフィ装置です。フォトレジストプロセスを使用して、ウェーハの表面にナノスケールパターンを形成します。低保守、低消費電力、高効率のレジストコートウェーハを採用しています。統合されたプロセス制御ユニットとイメージングマシンは、高解像度のイメージング、ナノスケールの位置決め、自動化された処理を提供します。EVG 120は、フォトレジストをコーティングしたウェハから始まります。フォトレジストは光に敏感な素材で、特定の波長や強度の光にさらされるとフォトレジストが硬化します。ステップアンドリピートのフォトレジストプロセスを通じて、フォトレジストが硬化すると、ウェーハの表面にパターンが形成されます。プロセスは、レーザー源の露出を制御するプロセス制御ツールによって制御され、ウェーハ上に所望のパターンを作成します。統合されたイメージングアセットは、電子顕微鏡や原子力顕微鏡などの高分解能の光学顕微鏡と高度なイメージング技術を使用して、ウェーハの欠陥を検査し、ウェーハが正確に処理されていることを確認します。また、EV GROUP 120は、パターン化されたフォトレジストプロセスの正確で反復可能な性能を可能にする自動アライメントおよび処理モデルを備えています。自動化された装置はまた、フォトレジスト処理中のヒューマンエラーのリスクを低減し、最終的な結果の変化を最小限に抑えて一貫した処理を可能にします。120には、センサーとハードウェアデバイスの組み合わせを使用して環境を監視し、処理条件が指定されたパラメータの外にある場合にオペレータに警告する革新的な安全システムも含まれています。これは、機械と人員の両方に潜在的なリスクを軽減するのに役立ちます。結論として、EVG/EV GROUP 120は、ナノリソグラフィーおよびウェーハ処理用に設計されたフォトレジストリソグラフィーユニットです。フォトレジストプロセスを使用して、ウェーハの表面にナノスケールパターンを形成します。統合されたプロセスコントロールマシンとイメージングツールは、高解像度のイメージング、ナノスケールの位置決め、自動化された処理を提供します。アセットには、自動化されたアラインモデルと処理モデル、およびプロセスに関連する潜在的なリスクを最小限に抑える革新的な安全装置も含まれています。