中古 EVG / EV GROUP 105 #9197310 を販売中

EVG/EV GROUP 105は、産業用に設計されたフォトレジスト機器です。これは、高度な光学技術と材料科学を使用して、高度なリソグラフィ用途に信頼性の高い高度なフォトレジストツールを提供する半自動システムです。この単位は抵抗の処理、基質のマスキングおよびパターン化のために半導体業界で一般的です。EVG 105は、最先端のフォトマスクを使用して、正確で正確なリソグラフィーパターンを作成します。リニアダイオードアレイと最適化された光の投影角度を使用することで、パターン品質が大幅に向上します。さらに、1つのプロセスで複数のレイヤーをパターン化することができ、処理時間とコストを劇的に削減できます。EV GROUP 105は、さまざまなレジストに対して柔軟性と信頼性の高い処理を可能にする2プレートツールを採用しています。トッププレートは半透明で、マスクからレジストフィルムへのパターンの正確な転送を可能にします。基板を底板に置き、圧力をかけて均一な分布と正確なパターン伝達を実現します。このアセットには、露光プロセス中のアライメント精度を向上させる外部4倍の顕微鏡カメラも搭載しています。このモデルは高度に構成可能であり、さまざまな要件に合わせて幅広いソフトウェアオプションがあります。光学プリント機能は、15nmの線幅から少なくとも0。25umのフィーチャーサイズまで、さまざまな膜厚をサポートします。機器はまた、主要なサプライヤーからの様々なレジスト材料と互換性があります。統合されたユーザーフレンドリーなGUIにより、簡単で直感的な操作が可能です。105は、プロセスコストを削減しながら、生産スループットと品質を向上させるように設計されています。このシステムは、高い再現性、精度、およびスループットを備えているため、生産量の多い産業に最適です。メンテナンスと保守性を念頭に置いて構築されたユニットで、ダウンタイムを防ぐために簡単にサービスを提供できるように設計されています。全体として、EVG/EV GROUP 105は信頼性と高度なフォトレジストマシンです。革新的な光学および材料科学技術を組み合わせることで、リソグラフィーパターニングを容易かつ効率的に行うことができ、卓越した再現性とスループットを実現します。このツールは、最高の生産量と品質要件を満たすように設計されており、リソグラフィーパターニングに信頼性の高いソリューションを提供します。