中古 EVG / EV GROUP 101 #9015368 を販売中
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ID: 9015368
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2003
Spray coater, 8"
Air pressure: 6-10 bar / 87-145 psi
Vacuum: <100 mbar / 76 Torr abs
Nitrogen: 6-10 bar / 87-145 psi
Exhaust: 1 x 180 m^3/h, 1 x 400 m^3/h
Power: 2 kW
Fumex FA1:
230 V, 1 Phase, 60 Hz, 2.9 A
Fuse: 5 A
2003 vintage.
EVG/EV GROUP 101は、電子部品の製造に使用されるツールとプロセスの専門セットであるフォトレジスト機器です。このフォトレジストシステムは、光または電子ビーム放射に感光性材料を選択的に露出して、材料のパターン化された層を作成することによって動作します。その後、この層を使用して、集積回路チップなどの顕微鏡スケールでさまざまな電子部品を作成することができます。フォトレジストユニットは通常、イメージングツール、開発者、光源、これらのプロセスの厳密な制御など、さまざまなツールとコンポーネントで構成されています。イメージングツールを使用すると、感光材料の表面に詳細なパターンを作成できます。その後、開発者は希望するパターンを材料に拡散させ、光源を使用して敏感な材料を活性化させ、パターン転送を可能にします。EVG 101マシンは、類似システムよりも優れた精度と解像度を提供します。この精度と解像度は、高解像度と高密度の両方の焦点を提供する高度な精密光学アレイを使用することによって達成されます。EV GROUP 101ツールには幅広いソフトウェア機能があり、ユーザーは問題のアプリケーションの要件を満たすために自分のデザインをすばやく変更することができます。これにより、製造プロセスに大幅な時間を節約することができますが、結果として得られるコンポーネントが最高品質であることも保証します。101のフォトレジスト資産を使用して、マイクロチップ、集積回路、半導体など、幅広い電子部品を作成できます。さらに、モデルは柔軟性とカスタマイズの程度を可能にし、ユーザーは自分のアプリケーションの特定の要件を満たすために自分のデザインを調整することができます。EVG/EV GROUP 101フォトレジスト装置は、優れた精度、解像度、ソフトウェア機能を備え、最先端かつ信頼性の高いフォトレジストシステムの1つです。
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