中古 EVG / EV GROUP 101 #293823918 を販売中

EVG/EV GROUP 101は、集積回路（IC）製造や光ストレージディスク（OSD）など、幅広い用途で正確で高精度なリソグラフィ処理を可能にするプロフェッショナルなフォトレジスト機器です。フォトレジストシステムは、マスクまたはレチクルからパターンを基板またはワークに転送するためにリソグラフィで使用されます。これは通常、薄膜蒸着、物理蒸着、光学リソグラフィ、イオンビームリソグラフィで行われます。EVG 101フォトレジストシステムは、迅速かつ簡単に処理するための統合された開発ユニットと、最大4つのブレードを備えた光学機器によって特徴付けられます。それに速いイメージの移動のためのツインチャンバーの露出用具があります；容易な基質のアクセスのための開いたフロアプレートの設計；そして低振動の真空のチャック、横および縦の整列および高精度のスライドブロックのような高度の要素。さらに、このアセットは、ユーザーの生産性を最大化するように設計された幅広い機能を提供します。EV GROUP 101フォトレジストモデルは、高度に自動化されており、簡単かつ効率的なジョブ管理のための組み込みソフトウェアツールの範囲が付属しています。この装置は、サブパターニングやステッチなど、複数のフォトレジストパターンにも対応しています。一体型クリーニングシステムはレジストの処理を支援し、高速基板搬送ユニットは迅速な基板搬入と搬出を可能にします。これにより、ジョブ設定の効率が最大限に向上します。このマシンには、粒子の汚染を最小限に抑えるためのモジュラー粒子漏斗ツールも含まれています。これにより、繊細なレジストパターンを加工中のダメージから保護し、歩留まりを最大化してダウンタイムを最小限に抑えることができます。さらに、このアセットは、タッチスクリーン診断機能を内蔵しており、迅速かつ簡単にトラブルシューティングできます。101フォトレジストモデルは、長期的で高収量の性能を提供し、プロフェッショナルなIC製造およびOSD製品の製造に最適です。