中古 EVATEC Solaris S380 #9390765 を販売中

EVATEC Solaris S380は、高度な制御とフォトレジスト材料の精密沈着のために設計された高度なフォトレジストコーティング装置です。このS380は、高可用性と低い所有コストと優れた制御機能を兼ね備えています。S380システムは、モジュール設計に基づいており、オプションの周辺モジュールを備えたベースユニットで構成されており、ユーザーは正確な要件を満たすようにユニットを構成することができます。S380マシンは、フォトレジスト材料を最大5層まで堆積することができ、各レイヤーには独立した制御およびプロセス条件があります。このツールは、スピンコーティング、スプレーコーティング、空気圧せん断コーティングなどの蒸着技術を選択できます。S380は再現性を考慮して設計されており、多種多様な基板や複数層スタックにわたるフォトレジスト特性の再現性を保証することができます。S380には、人間工学に基づいたタッチスクリーンユーザーインターフェイス、低メンテナンスエレクトロニクス、高度なプロセスオートメーション、自動基板サイズ検出など、いくつかの標準機能が付属しています。革新的な「インテリジェント」制御アセットは、プロセス条件や基板の変更に関係なく、一貫したパフォーマンスを保証します。故障診断と予後診断により、最大の稼働時間と低い所有コストが保証されます。S380はまた、他の本番システムへの統合、または完全なクローズループ・プロセス制御を可能にするさまざまなオプションを提供します。リモートコミュニケーションシステム、部品追跡、マシンビジョン、レーザー干渉計、およびスプレーパターン分析のオプションを利用することで、生産能力とプロセス能力の優れた監視を可能にします。Solaris S380は、高度で信頼性の高いフォトレジストコーティングモデルであり、精密な蒸着用途に優れた測定および制御機能を提供します。この装置は、プロセスオートメーション、パフォーマンス最適化、アップグレード可能なシステム、リモート監視、自動基板サイズ検出など、幅広い機能を提供します。これらの機能により、プロセス条件や基板の変更に関係なく、再現性のあるフォトレジスト層を簡単に処理できるため、費用対効果が高く信頼性の高いシステムとなります。