中古 EVATEC Solaris S380 #9360695 を販売中

製造業者
EVATEC
モデル
Solaris S380
ID: 9360695
System.
EVATEC Solaris S380は、ナノパッタニング用のフォトリソグラフィを使用した高度なフォトレジストシステムです。それは研究開発のための高解像度のイメージングワークステーション、または最新の、最も要求の厳しい技術に焦点を当てた生産です。露出ツール、高精度ステッピングモータ、3軸ワークステーション、検査ステーション、さまざまなソフトウェア機能を組み合わせて、ウェハまたは基板上に機能を作成および複製します。Solaris S380は、従来の正と負の抵抗から高度な特殊アプリケーションまで、さまざまなフォトレジストを露出することができます。ダイレクトライトアプリケーションでは1秒未満、フルイメージでは最大60秒の露光時間があります。その結果、オプトエレクトロニック、フォトニクスデバイス、フォトリソグラフィ回路基板など、幅広いフォトニック用途に適しています。EVATEC Solaris S380の中核は、その高性能デジタルライトプロセッサです。1秒あたり最大8Mピクセルの処理が可能で、感光材料用の非常に高精度なデジタルイメージコントロールを備えています。通常のDLP (Digital Light Processing)システムと比較して最大10倍の解像度を実現し、同じ視野でより詳細なパターニングが可能です。さらに、非常に低い露出レベルでも信頼性の高いアライメントを備えているため、毎回正確かつ正確にパターンを作成できます。高精度のステッピングモータにより、粒子とフィーチャーアライメント用のウェーハを迅速かつ正確に登録できます。また、高精度と再現性を維持しながら、露出ヘッドを滑らかで静かな動きで動かす高性能スキャン機構を備えています。このシステムは使いやすいユーザーインターフェイスによって制御され、オペレータが一貫して完璧な結果を得るのに役立ちます。それは理想的な露出のパラメータを決定するための穿孔ツールの様々なを持っています。レジストパラメータの解析を容易にするために、高度なソフトウェア機能を利用できます。全体として、Solaris S380は堅牢で信頼性の高いフォトレジストシステムであり、研究者や製造業者に効率的で高精度なイメージングソリューションを提供します。これは、最も複雑で詳細な3Dパターンを生成することができ、フォトニクス、オプトエレクトロニクス、その他の分野の研究や生産タスクのための理想的なツールになります。
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