中古 ESA SRD-3000 #9285370 を販売中
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ESA SRD-3000フォトレジスト装置は、最新のエレクトロニクスを構築するために使用される高度なフォトリソグラフィーシステムです。具体的には、高分子マトリックスと光に敏感な化学物質からなるフォトレジストと呼ばれる遮光材料を用いて、回路印刷に必要な極めて薄い金属膜を生成します。フォトレジスト材料は、スピンコーティングプロセスを使用して基板に適用されます。このプロセスは、一定の速度で回転したときに基板に均一にコーティングを適用するために使用される自動機械であるスピンコーターを含みます。スピンコーターは、液体ポリマーと感光性化学薬品の溶液であるフォトレジストを基板に適用します。その後、材料は乾燥するにつれてゆっくりと硬くなります。フォトレジストを適用すると、基板は光のパターン(イメージングと呼ばれるプロセス)にさらされ、フォトレジスト内の感光化学物質が活性化されます。イメージングステップは、SRD-3000ツールに組み込まれたレーザーイメージングマシンによって管理されます。このアセットは、レーザーを使用してフォトレジストに画像を正確に投影します。光の露出の強度と持続時間は、フォトレジストのどの部分が硬化し、可溶性のままであるかを決定します。最後に、残りのフォトレジスト(光にさらされていない部分)を洗い流して、基板上の金属線のパターンを明らかにします。残りのフォトレジスト層は、エッチング、メッキ、プレイテープアタッチメントなどのさらなる処理段階で、その下にある基盤回路と金属層を保護する絶縁層として機能します。結論として、ESA SRD-3000フォトレジストモデルは、基板上に薄い金属ラインを作成することを可能にする高度なフォトリソグラフィ装置であり、高品質の現代のエレクトロニクスの生産を可能にします。このシステムは、レーザーを使用してフォトレジストに光のパターンを正確に投影し、感光化学物質を活性化してフォトレジストの特定の領域を硬化させます。残りのフォトレジストが洗い流された後、金属ラインのパターンははっきりと見え、さらなる生産プロセスに使用できます。
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