中古 ENTEGRIS FOUP #9392095 を販売中

ENTEGRIS FOUPは、高解像度集積回路（IC）製造に使用される先進的なフォトレジスト機器です。このシステムは、製造プロセスのフロントエンドを管理、追跡、検査するために使用される多目的ツールです。FOUPユニットは、フォトリソグラフィに使用される機器やプロセスを顧客が管理できるように、フォトリシストアプリケーションのための汎用性の高いソリューションであるように設計されています。ENTEGRIS FOUPマシンには、高度なポート技術設計や汚染制御など、フォトリソグラフィープロセスを最適化するいくつかの機能があります。ポート設計により、ユーザーはツールとマシン間で簡単にウェーハを転送でき、ゾーン間でウェーハを正確に移動するための高速トラックコントロールを提供します。この設計により、高度なコンタミネーション制御が可能になり、一貫してクリーンなウェーハを確保できます。FOUPツールのすべてのコンポーネントは、フォトレジストアプリケーション用に特別に設計されています。この資産には、カスタマイズ可能なドッキングカセット、複数の輸送およびローディングレール、およびウェハートレイが含まれています。ドッキングカセットとトランスポートモデルはモジュール式で、ユーザーは新しいツールを簡単にプロセス全体に統合できます。ウエハートレイは、フォトレジスト用途に特化した密閉環境を提供します。ENTEGRIS FOUP機器には、フォトリソグラフィーシステムを完全に制御する強力なウェーハ管理ソフトウェアも含まれています。このソフトウェアを使用すると、ユーザーはウェーハの負荷を追跡および管理し、特定のツールにタスクを割り当て、ツール間の移動を自動化できます。さらに、フォトレジスト層の故障解析や精密測定など、ウエハ検査のための高度なツールを提供します。FOUPユニットは、現在および将来のフォトリソグラフィのニーズを満たすための信頼できるツールです。堅牢な設計、正確な制御、高度な管理ツールを備えており、一貫して高品質の製品を保証します。このマシンのポート設計、汚染制御機能、およびウェーハ管理ソフトウェアを使用することで、お客様はフォトレジストアプリケーションをできるだけ効率的かつ効果的に実行できるようになります。