中古 ELS TECHNOLOGY ELS3604FA #9156774 を販売中

ELS TECHNOLOGY ELS3604FAフォトレジスト装置は、フォトリソグラフィープロセスのための最先端のシステムです。ファインラインICデバイスの製造、小型・大面積のメタライゼーション、パッシベーションプロセスなど、幅広い用途に適しています。この機械は露出力、露出時間および焦点位置のような露出変数を独自に制御できる4つの光学チャネルおよび4つの独立した制御システムを特色にします。このツールには、4x4レーザーステージ、4チャンネル露出ヘッド、垂直統合イメージングアセットもあります。ELS3604FAはフルHD解像度と1500xまでの広範囲の倍率を備えています。最大1ミクロンの露光解像度と最大30分の露光時間を実現できます。また、波長532nmと405nmの2つの「M1」および「M2」レーザー光源を備えており、添加モードと減算モードの両方で動作できます。また、液体ベースのフォトレジストコーティング装置を採用しているため、さまざまな基板や用途に合わせてコーティングすることができます。ELSの技術ELS3604FAは非常に正確、反復可能です。その電動ステージとオートメーションシステムは、再現性と正確な結果を保証し、より効率的なスループットと品質管理を可能にします。さらに、内蔵のビジョンユニットにより、アライメントとクリティカルディメンションチェックを迅速かつ正確に行うことができ、生産性が向上します。また、連続的な露出フィールドを生成し、より大きな基板の複数の露出フィールドをオーバーラップする機能、焦点深度の増加、露出パターンを正確に制御できる「分子フォトマスク」機能など、いくつかの高度な機能を備えています。結論として、ELS3604FA Photoresistツールは、多くのフォトリソグラフィープロセスに適した最先端の資産です。自動化された精密な機能により、効率的かつ正確な処理が可能になり、繰り返し可能で高品質な結果が得られます。