中古 ELS TECHNOLOGY ELS3604FA #293630295 を販売中

ELS TECHNOLOGY ELS3604FA from ELS TECHNOLOGYは、光電子デバイス製造用に設計された先進的なフォトレジスト機器です。システムは、リソグラフィーワークステーション、マスクアライナー、フォトレジストユニットで構成されています。リソグラフィーワークステーションには、高性能スカナーム、固定イメージング構造、独自の同軸マイクロレンズアレイが含まれており、正確に制御された光場を提供し、サブミクロンのフィーチャーサイズと解像度で複雑なデバイス機能を印刷できます。スキャンユニットは、迅速な露出サイクルを保証し、自動フォーカスキャリブレーションマシンを備えています。このツールのマスクアライナーは、優れた画質を提供し、従来のマスクメディアとMOEM （Micro-Optical Electro-Mechanical）やMAEM （Micro-Optical Alignment Electro-Mechanical）などの高度なイメージング技術の両方で高いスループットを実現します。マスクアライナーは、マスクや基板の高精度なアライメントを可能にし、解像度を数ナノメートルまで調整することができます。アセットのフォトレジストユニットは、光照射のためのアクティブなHeNeレーザーを備えており、200nmまでの高解像度フォトリソグラフィを可能にし、ナノメータスケールで優れた信頼性と再現性を提供します。このユニットは、ウェーハ上のドライフィルム、迅速な開発のための化学および熱感受剤、およびCTO（セラミック-金属）シールとの互換性のための高温エッチング剤など、さまざまなフォトレジストを処理することができます。ELS3604FAフォトレジストモデルは、高性能のリソグラフィーワークステーション、精密なマスクアライナー、信頼性の高いフォトレジストユニットを1つの完全なユニットに統合しており、オプトエレクトロニクスデバイス製造に非常に高性能で費用対効果の高いソリューションを提供します。ELS TECHNOLOGY ELS3604FAは、高解像度イメージング、優れた信頼性、再現性、汎用性の高いレジスト処理能力により、ユーザーに包括的な生産ソリューションを提供します。