中古 ELS TECHNOLOGY ELS-306MA #9059475 を販売中

ELS TECHNOLOGY ELS-306MA 「Desmear Equipment」は、大手フォトレジスト開発会社ELS TECHNOLOGYが設計したフォトレジストシステムです。フォトレジストは、半導体製造でパターン定義を提供するために使用される光感受性材料です。ELS-306MA Desmear Unitは、ベーキング、露出、開発などの機能を統合した3-in-1マシンで、フォトレジスト生産のための包括的な統合ソリューションとして機能します。このツールは、高度に統合されたシングルプロセスチャンバーを備えており、最適な統合と省スペースを実現します。プロセスチャンバーはフォトレジストプロセスに合わせてカスタマイズされており、ロードロック技術や200mmまでの基板用の標準ウェハハンドリングなど、優れたハンドリング機能を提供します。プロセスチャンバーはまた、サンプルを焼くための1〜2分の範囲で提供し、高速ベーク時間を備えています。さらに、室内には光監視アセットがあり、回折格子が内蔵されているため、線幅のばらつきや不正確なパラメータによる品質問題を解消することができます。ELS TECHNOLOGY ELS-306MAは、Quadrascan、さまざまなレーザーマーキング源、EBレジストパターニングなど、幅広い露光ツールオプションもサポートしています。このマシンは強力なソフトウェアパッケージでサポートされており、レシピの簡単なセットアップとカスタマイズが可能です。これには、使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイス、統合されたバッチ処理機能、50以上のプロセスのプリインストールされたレシピが含まれます。さらに、Desmear Model ELS-306MA優れたアップタイムと信頼性を備え、連続的で問題のない操作を保証します。この装置は、過圧保護、熱監視、過電流防止などの安全機能を統合しています。また、自己診断機能と統合されたプロセス追跡機能を備えており、プロセスを便利に監視できます。ELS TECHNOLOGY ELS-306MAは、統合された多機能、高速処理速度、信頼性の高いパフォーマンスにより、優れた価値を提供します。コンパクトな設計と統合された機能は、限られたスペースでの生産にも理想的です。