中古 EIKO IB-3 #293793575 を販売中

EIKO IB-3は、二層フォトマスクと三層フォトマスクの両方のために設計された次世代フォトレジスト機器であり、高精度なアライメントと高感度露光性能を確保するために専用の高度な技術を利用しています。このシステムは、1ミクロンの精度と0。55nmの解像度を持つ高解像度スキャンヘッドを使用して、単層、二層、三層フォトマスクの両方を製造することができます。また、高速マスクプロセッサを搭載し、線幅、均一性、接触穴などのフォトマスクパラメータを迅速に測定できます。さらに、薄膜エッチングモジュールにより、露出やエッチングのための正のレジスト物質を高精度に除去できます。精度に関し は、100nm/5s のリアルタイム露光安定性を備え、0。2〜0。3ミクロンのライン幅を確実に生産 ことができます。光線の形状を制御しながら露光時間を短縮できるビームパネルを採用することで、高精度なラインを実現しています。自動アライメント装置は0。1ミクロンの精度で高精度なアライメント測定を可能にし、高感度フォトレジストは複数層の複雑なレイアウトを確実に生成することができます。最後に、EIKO IB-3は「ゼロ」欠陥率を備えた信頼性が高く、要求の厳しいリソグラフィープロセスに最適なスタンドアロン機能を備えています。パワフルで使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイスは、リソグラフィープロセスのすべての段階をサポートしており、トレーサビリティ機能が統合されているため、データの正確性が保証されます。さらに、高度なメンテナンスサービス設計により、メンテナンスと修理が容易になり、大量生産環境での信頼性の高いパフォーマンスが保証されます。