中古 EBARA UFP 300A #9228100 を販売中

EBARA UFP 300Aフォトレジスト装置は、高度なマスクレスリソグラフィ用途向けの超精密高性能変調器です。このシステムは、基板の広い領域にわたって、1ミクロンのフィーチャーサイズまで、非常に高解像度のイメージングを可能にします。非常に高速な応答時間とわずか50ナノ秒のセトリング時間を特徴とし、画像ビームの正確な位置決めと調節を可能にします。EBARA UFP-300Aは、強力なFPGAベースのユニットを使用して制御され、スキャンビームの高効率な位置決めとデータ取得と処理が可能です。このマシンは、高感度フォトレジスタを使用してスキャンビームによって生成された超紫色の光を検出し、所望の解像度を達成するためにそれに応じてビームを変調します。また、このフォトレジストツールにより、スキャンビームの自動アライメントが可能になり、基板表面全体に均一で高分解能な露出を保証します。UFP 300Aには最新の防塵技術が搭載されており、クリーンルーム環境での操作が可能です。このアセットには、最大の出力と品質を確保するために、フィルターやエミッションコレクターなどのアクセサリーが付属しています。このモデルには、基板のビームへの偶発的な露出を防ぐためのインターロックを含む、安全機能の完全なスイートが装備されています。UFP-300Aは、最も複雑なマスクレスリソグラフィ要件の要求を満たすように設計されています。高精度のアライメント装置と超高速応答時間により、広い領域での非常に微細な分解能を実現します。これにより、極端なフォトリソグラフィ精度を必要とする製造プロセスに最適なソリューションとなります。