中古 EBARA UFP 200A #9198040 を販売中

EBARA UFP 200A
製造業者
EBARA
モデル
UFP 200A
ID: 9198040
Auto plating system.
EBARA UFP 200Aは、フォトマスク製造のハイエンド要件を満たすように設計された最先端のフォトレジスト加工装置です。4。5 μ m以下の高解像度機能と線幅を実現しています。このシステムは、405nmの波長のレーザー光源を使用して、目的の基材上のフォトレジスト層に画像を生成します。フォトレジストは、半導体製造のためのパターン化された基板に適用される、高度なフォトリソグラフィープロセスの最も重要な部分の1つです。UFP 200Aは、スキャンやラインエンコーディング、画像要素などの高度なビームスキャン技術を採用しており、パターンの自動化と高精度な再現が可能です。また、工場フロア外の環境条件が変動しても生産条件が一定になるインダストリー4。0機能を搭載しています。EBARA UFP 200Aは、優れた画質と高いアライメント精度だけでなく、正確な機能と線幅制御も提供します。UFP 200Aは調節可能な焦点距離を備えており、同じ精度と解像度を維持しながら様々な基板を使用することができます。EBARA UFP 200Aは、フォトレジストフィルムの層間を外部位置決めなしでスムーズに移動できる運動軸を内蔵した多層露光が可能です。さらに、露出の全領域にわたって一貫した分解能を維持する一定のレーザー出力により、機械は高い直線性を持っています。安全のために、UFP 200Aには有毒な蒸気浄化ツールも装備されています。この資産は、ユーザーがマシンを操作している間、クリーンな環境を確保するために危険なガスをフィルタリングします。EBARA UFPの200Aはまた最小限の騒音および事実上振動の精密な基づいた操作を保障する速い機能のエアブレーキシステムを特色にし、機械を最も厳密な標準に迎合的にさせます。結論として、UFP 200Aは、高度なフォトリソグラフィープロセス用に設計された堅牢で信頼性の高い機械です。自動化と高度なモーションスキャン機能、高いアライメント精度と画質により、フォトマスクの生産に最適です。さらに、有毒な蒸気浄化装置とエアブレーキシステムは、柔軟性と安全性を高めます。EBARA UFP 200Aは、信頼性の高いハイエンドフォトレジスト加工をお探しの方に最適です。
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