中古 EBARA UFP 200A #9192490 を販売中
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EBARA UFP 200Aは、半導体ウェーハにフォトレジストを堆積させるために設計された完全自動フォトレジスト装置です。手動で介入することなく、ウェーハ表面全体にフォトレジストを堆積して回転させることができます。このシステムは、スピンオンの化学前駆体を使用して、ウェーハ上にフォトレジストの均一な層を堆積させます。UFP 200Aユニットは、ウェーハ表面全体の均一なコーティングを容易にするように設計されたインラインプロセスチャンバーを備えています。ウェーハ加熱機により、レジスト層の精度を高めることができます。このツールには、ウエハ表面全体にレジスト層を均一に分布させるためのスピン速度とタイムモニターも内蔵されています。EBARA UFP 200Aアセットには、ウエハー全体に均一な温度分布で最大200°Cのポストベーク温度を提供するポスト露出ベークモジュールも内蔵されています。また、原子力顕微鏡を搭載しており、露出後のレジスト厚と表面粗さを精密に測定することができます。UFP 200A装置には、露光プロセス中にウェーハをアライメントするための高精度のクローズドループステッピングシステムも備えています。これにより、露出が垂直方向と水平方向の両方で正確に整列されるようになります。さらに、ウェーハ全体が適切に整列されるまで機械がプロセスを開始するのを防ぐ安全インターロックも備えています。これにより、プロセスが正確かつ効率的に実行されるようになります。最後に、EBARA UFP 200Aツールは、新しいフォトレジストプロセスを簡単かつ効率的に探索できるように設計されています。アセットは、プロセスの堆積と回転のステップを迅速かつ正確に実行することができ、新しいフォトレジストのレシピの探索におけるより短い納期を可能にします。
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