中古 EBARA UFP 200A #9100402 を販売中
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タップしてズーム
販売された
ID: 9100402
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2003
Full automatic Cu plating system, 8"
Main body
Controller
Wafer holders
Wafers: W8-0333834-01 Semi standard 200mm, V notch 725um thick, semi-standard 200mm OF thickness 725um
Plating:
Post Cu
Method Electronics
Time: 90 min
Currency density: 5.4A/dm2
Liquid temp: 25°C
Plating sink: Dip
Anord including P
Thickness: 110~120 um
Re-wiring
Method: Electronics
Time: 14 min
Currency density: 2.0A/dm2
Liquid temp: 25°C
Plating sink: Dip
Anord including P
Thickness: 6.5 um
Transfer by robot
Operating mode: automatic, maintenance, return
Cu plating
Dry in/Dry out
Liquid insert
Liquid inside sink and tubing can be drawn
Semi standard cassette applicable
Semi standard load port applicable
(25) Fluoroware 200mm PA200-79MD
Semi standard cassette applicable robot
Can place wafers on rinse dryer
Can place wafers on notch aligner
Can handle wafers on notch aligner
Notch aligner can detect wafer notch
Rinse dryer can rinse wafers after plating
Can dry after plating
Holder transfer robot can remove wafer holder from wafer placing position
Wafer holder standard position from each sink
Stock sink: 2 x 19
Material: PVC
Voluum: 194 L
Accessories: Jig placing plate, liquid sensor, wafer holder sensor
Post water rinse: 2 x 3
Material: PVC
Volume: 72 L
Accessories: Jig placing plate, liquid sensor
Post process sink: 2 x 1
Material: HTPVC
Sink: Upper over flow
Volume: 37 L
Accessories: jig placing plate, liquid sensor, circulation pump, temp sensor, temp unit
Water rinse: 2 x 1
Material: PVC
Sink: quick damp
Volume: 17 L
Accessories: jig placing unit, liquid sensor
Cu plating: 2 x 26
Material: HTPVC
Sink: upper over flow
Volume: 280 L
Accessories: Jig placing unit, liquid sensor, liquid mixer, plating liquid circulation pump, temp sensor, temp unit
Blow: 2 x 1
Material: PVC
Volume: 17 L
Plating(spare) 2x2
Material HTPVC
sink upper over flow
Volume 72L
Accessories Jig placing plate, liquid sensor, liquid mixer, plating liquid circulation pump, temp sensor, temp unit
Waste sink 1
material PVC
Volume 205 L
Accessories liquid surface detector, waste liquid pump, temp sensor
Tubing
Can circulate plating liquid
can keep temperature at 25°C ±1°
Can exhaust waste liquid
Can add pure water
Currently warehoused
2003 vintage.
EBARA UFP 200Aは、紫外線露光とマイクロエレクトロニクス基板の高精度エッチング用に設計されたフォトレジスト装置です。このシステムは、高出力の安定ランプを使用して、必要な紫外線の強力で効率的な供給源を提供します。調整可能なフィルターホイールにより、スペクトル出力の微調整が可能で、最適な作業性能を実現します。このマシンには、露出プロセス中の作業温度を維持するための高効率の空冷コンデンサーが装備されています。また、静電気防止機を搭載し、汚染リスクを低減しています。UFP 200Aフォトレジストツールには、高性能処理をサポートするように設計されたさまざまな機能があります。ユーザーフレンドリーなタッチスクリーンインターフェイスと幅広い設定を備えており、露出プロセスを正確かつ正確に制御できます。アセットのデジタル出力を使用して、スキャナなどの他の機器を駆動し、エッチング処理を容易にすることができます。さらに、金属、セラミックス、シリコンなど、さまざまな基板に使用できます。このモデルは、幅広いエッチング用途向けに設計されています。EBARA UFP 200Aは、温度や圧力の設定に応じて、1通過あたり最大8ミクロンの深さまでエッチングすることができます。装置は、前加熱、露出、後硬化プロセス、およびエッチングプロセスを実行するようにプログラムされています。UFP 200Aフォトレジストシステムは、さまざまな基板上の高解像度構造を正確に複製およびエッチングするために設計された信頼性の高い効率的なユニットです。そのユーザーフレンドリーなインターフェイスと幅広い設定は、正確な結果を保証しながら、最大限の機能を提供します。機械の堅牢な設計により、長年の信頼性の高い性能が保証され、EBARA UFP 200Aフォトレジストおよびマイクロエレクトロニクス加工に最適です。
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