中古 EBARA CADS HVM #9112898 を販売中

EBARA CADS HVMは、EBARAが開発した、高速かつ正確なフォトリソグラフィープロセスを可能にするフォトレジスト機器です。マイクロエレクトロニクス機器の金属線などのパターンを高精度に作成することができます。先進のレーザーオプティクスを搭載した電子スキャン機、幅広いフォトレジストケミカル、高性能マスクアライナーツールを採用しています。CADS HVMアセットには、高精度のレーザー光源が含まれています。レーザービームは、印刷する必要があるパターンに従って変調され、ビームはレジスト層に向けられます。その後、高度な光学モデルを使用してビームをレジスト層に直接投影し、高解像度パターニングを行います。EBARA CADS HVMは、高精度のマスクアライナー装置を使用して、パターンをレジスト層に正確に登録およびパターン転送します。サイズ0。05um、ピッチ180umまでの印刷が可能です。このユニットはまた、複雑なパターンを正確に再現できるようにビームプロファイル制御を統合しています。CADS HVMマシンはまた、それが様々なアプリケーションに使用することができますフォトレジストケミカルの範囲を備えています。このツールは、波長、温度、およびフォトレジスト化学物質を正確に制御し、基板へのレジストの良好な接着性を提供し、高精度なパターンを保証します。EBARA CADS HVMは、正確なパターニングを確保するために、統合されたソフトウェアおよびハードウェア診断システムも備えています。これらは、低消費電力レーザーソース、マスクアライナーの偏差、およびフォトレジストケミカルのエラーなどの資産のエラーを検出できます。結論として、CADS HVMモデルは高度なフォトリソグラフィ装置であり、マイクロエレクトロニクスデバイスの高速で正確で正確なパターニングを高分解能で提供します。その統合されたマスクアライナーシステム、フォトレジストの範囲、および高度なレーザーソースは、さまざまなアプリケーションで優れた性能を提供します。統合された診断システムはまた、優れた精度と品質保証を提供します。